一、 钴铁铝氧靶材的中枢特质 钴铁铝氧并非一种浅显的化合物，而是一种由钴（Co）、铁（Fe）、铝（Al）的氧化物组成的复杂功能材料体系。其超卓的性动力于各元素的协同作用： 1. 优异的软磁性能 “软磁”材料是指那些既容易被磁化，也容易退磁，且磁损很低的材料。钴和铁是经典的磁性元素，提供了高足够磁化强度。而铝和氧的引入，通过与钴、铁的复杂相互作用，粗略灵验调控材料的磁各向异性和磁致伸缩整个，从而取得低矫顽力、高磁导率的脾性。这使得由其制备的薄膜在交变磁场中能量损耗极低。 2. 高电阻率 纯金属磁